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博士学位论文-大规模集成电路的发展以及铜互连工艺的概述.doc
九十年代以后,大规模集成电路工艺的发展仍然依照摩尔定律所预言的发展速度急剧增加。集成电路技术目前已发展到甚大规模阶段。
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超大规模集成电路铜互连电镀工艺 论文 _16912.doc
超大规模集成电路铜互连电镀工艺论文 摘要:介绍了集成电路铜互连双嵌入式工艺和电镀铜的原理;有机添加剂在电镀铜中的重要作用及对添加剂含量的监测技术;脉冲电镀和化学电镀在铜互连技术中的应用;以及铜互连电镀
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一种用于半导体铜互连工艺的电镀铜膜的处理方法.doc
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集成电路铜互连工艺中先进扩散阻挡层的研究.doc
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一种用于铜互连的化学机械抛光液及工艺.doc
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大马士革互连工艺金属填充方法.doc
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013μm铜互连工艺鼓包状缺陷问题的解决.docx
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向豆丁求助:有没有铜互连工艺?