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第12
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光
刻
:掩膜,光
刻
胶和光
刻机
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光刻是一种种象种印的技种,是集成种路制程中一种种种的工种技种。在整工种流程中,光 个刻的步种占到50 %以上,其成本占种制造成本的1/3 以上。Photolithography光刻步种占整工种流程 个
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