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第七章
掺杂
技术-
离子
注入
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IonImplantation 最早应用于原子物理和核物理研究 提出于1950’s 1970’s中期引入半导体制造领域离子注入是另一种对半导体进行掺杂的方法。将杂质电离成离子并聚焦成离子束,在电场中加
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