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第四章光现象》复习提纲.txt
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第四章光刻技术.txt
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第四章 光刻技术
①定义：通过光化学反应，将光刻版（mask）上的图形转移到覆盖在Si片上的感光层（光刻胶）上的工艺。
②目的：在SiO2 Si3N4 poly-Si 及金属膜上形成与光刻版完全对应的图形，实现选择性扩散和金属布...
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向豆丁求助：有没有第四章光?
