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[电子/电路]集成电路第九章 测试第八章 集成电路的测试
集成电路的测试是集成电路设计和生产过程中非常重要的一个环节。 集成电路的测试是集成电路设计和生产过程中非常重要的一个环节。根 据测试的目的,通常集成电路测试可以分成四种: 据测试的目的,通常集成电路测试可以分成四种: 1)验证测试:是一种研究型测试。在大批量投产之前,首先要确定它的功能 )验证测试:是一种研究型测试。在大批量投产之前, 和性能都达到了设计的要求。测试全面。 和性能都达到了设计的要求。测试全面。 2)生产测试:对于大批生产的芯片,测试它的功能是否正确以及性能指标是 )生产测试:对于大批生产的芯片, 否在规定的范围以内,并进行分选。 否在规定的范围以内,并进行分选。 3)老化测试:通过一个长时间的连续或周期性的测试来发现是否存在失效的 )老化测试: 芯片。 芯片。 4)成品检测:在集成到系统之前,系统制造商一般要进行成品检测。 )成品检测:在集成到系统之前,系统制造商一般要进行成品检测。
1
第八章 集成电路的测试
实际的测试取决于被测电路所处的加工阶段(正在加工、 实际的测试取决于被测电路所处的加工阶段(正在加工、加 工完成、封装完成)。通常的测试都会按照正在加工晶圆和封装 工完成、封装完成)。通常的测试都会按照正在加工晶圆和封装 )。 后的步骤来进行, 后的步骤来进行,虽然在晶圆加工阶段会针对器件参数做一些测 试,但绝大部分的测试是在晶圆加工完成以后进行的。在对晶圆 但绝大部分的测试是在晶圆加工完成以后进行的。 进行的测试称为在晶圆测试(中测),这种测试依靠探针台 进行的测试称为在晶圆测试(中测),这种测试依靠探针台 ), (probe station)分选,将潜在的失效电路标记并分离,再经过 )分选,将潜在的失效电路标记并分离, 划片和封装进入封装完毕的成品测试(成测)。 划片和封装进入封装完毕的成品测试(成测)。
2
第一节 集成电路测试信号连接方法
集成电路测试所要做的工作, 集成电路测试所要做的工作,一是要将芯片与测试系统的各 种联接线正确连接;二是要对芯片施加各种信号, 种联接线正确连接;二是要对芯片施加各种信号,通过分析 芯片的输出信号,来得到芯片的功能和性能指标。 芯片的输出信号,来得
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