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一种氯化物体系线路版蚀刻液在线
提取铜
和蚀刻液回用的装置
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一种氯化物体系线路版蚀刻液在线提取铜和蚀刻液回用的装置,它由一定数量的敞口式的电解单元组成一个电化学处理系列,用阴离子膜或者具有微渗透性能的隔膜材料把每个电解单元分隔成阳极区和阴极区两部分,阳极区用钛基涂覆贵金属氧化物的电极材料作为阳极,用钛的三维电极材料作阴极的电解单元则构成电化学处理系列的前级段,用钛板或者铜板二维电极材料作阴极的电解单元则构成电化学处理系列的后级段。用单一的直流电解电源构成电化学处理系列的供电电源。从氯化物体系线路版蚀刻体系进入电化学处理系列的蚀刻液,通过调节槽电压、流量、阴极和阳极的面积比等电化学参数,使得在阳极区发生的电化学反应是一价铜离子氧化成二价铜离子的反应,在电化学处理系列的前段液阴极区发生的电化学反应是二价铜离子还原成一价铜离子的反应,在电化学处理系列的后级段阴极区发生的电化学反应是一价铜离子还原成金属铜的反应,经电化学处理系列处理后的蚀刻液,降低了其铜离子的含量和提高了二价铜离子含量的比率,经混合后返回线路版蚀刻系统进行蚀铜操作,整个电化学处理系列的设备都是敞口式的,阳极区上方没有氯气逸出,不存在处理氯气尾气的困扰。
莫问奴归处
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