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用
不同
方法评价0.18μmCMOS工艺栅氧
击穿电压
和击穿电量
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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN109557440A (43)申请公布日 2019.04.02 (21)申请号 CN201910043704.X (2
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不同电压形式下气隙的击穿电压
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