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数字灰度光刻成像物镜设计.pdf
数字灰度光刻成像物镜设计
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光刻成像系统及其投影曝光方法.doc
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金属薄膜超透镜光刻成像质量的研究.pdf
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(光学专业优秀论文)DMD用于数字光刻成像研究.pdf
（光学专业优秀论文）DMD用于数字光刻成像研究
光学真正形成一门科学，应该从建立反射定律和折射定律的时代算起，这两个定律奠定了几何光学的基础。17世纪，望远镜和显微镜的应用大大促进了几何光学的发展。
　　光的本性（物理光学）也是光学研究的重要课题。微粒说把光看成是由微粒组成，认为这些微粒按力学规律沿直线飞行，因此光具有直线传播的性质。19世纪以前，微粒说比较盛行。但是，随着光学研究的深入，人们发现了许多不能用直进性解释的现象，例如干涉、衍射等，用光的波动性就很容易解释。於是光学的波动说又占了上风。两种学说的争论构成了光学发展史上的一根红线。
　　狭义来说，光学是关于光和视见的科学，OPTICS(光学)这个词，早期只用于跟眼睛和视见相联系的事物。而今天，常说的光学是广义的，是研究从微波、红外线、可见光、紫外线直到X射线的宽广波段范围内的，关于电磁辐射的发生、传播、接收和显示，以及跟物质相互作用的科学。光学是物理学的一个重要组成部分，也是与其他应用技术紧密相关的学科。高等物理光学分类
　　（1）几何光学
　　（2）物理光学
　　（3）量子光学
初等物理分类
　　（1）初中阶段：几何光学
　　（2）高中阶段：几何光学、物理光学
　　（3）说明：一般生活中提到的光学就是高中阶段的分类标准。
编辑本段
研究内容

　　我们通常把光学分成几何光学、物理光学和量子光学。
几何光学
　　是从几个由实验得来的基本原理出发，来研究光的传播问题的学科。它利用光线的概念、折射、反射定律来描述光在各种媒质中传播的途径，它得出的结果通常总是波动光学在某些条件下的近似或极限。
物理光学
　　是从光的波动性出发来研究光在传播过程中所发生的现象的学科，所以也称为波动光学。它可以比较方便的研究光的干涉、光的衍射、光的偏振，以及光在各向异性的媒质中传插时所表现出的现象。波动光学的基础就是经典电动力学的麦克斯韦方程组。波动光学不详论介电常数和磁导率与物质结构的关系，而侧重于解释光波的表现规律。波动光学可以解释光在散射媒质和各向异性媒质中传播时现象，以及光在媒质界面附近的表现；也能解释色散现象和各种媒质中压力、温度、声场、电场和磁场对光的现象的影响。
量子光学
　　英文名称：QUANTUM OPTICS
　　量子光学是以辐射的量子理论研究光的产生、传输、检测及光与物质相互作用的学科。1900年普朗克在研究黑体辐
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西安理工大学硕士学位论文基于DMD的数字无掩模光刻成像系统设计姓名：杜欣荣申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：马剑平20080301摘要论文题目：基于ＤＭＤ的数字无掩模光刻成像系统设
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