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大规模7-光学光刻.ppt
介绍了光学光刻技术,比较实用。
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光学光刻中英文外文文献翻译.doc
外文文献翻译完整版 字数4366 (含:英文原文及中文译文)文献出处: Hongfei, Xiaoping. Temperature Control System Multi-closedLoops
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微电子工艺课程设计提供光学光刻分辨率的方法研究2目录摘要........................................................................
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光学光刻光刻曝光刻蚀光源曝光方式7.1光刻概述评价光刻工艺可用三项主要的标准:分辨率、对准精度 和生产效率。涂光刻胶(正)选择曝光光刻工艺流程显影(第 次图形转移)*光刻工艺的8个步骤光源紫外光(UV
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课程设计参考报告——提高光学光刻分辨率的方法研究(精)

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