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环评报告表-四川永祥多晶硅有限公司四氯化硅冷氢化节能降耗技改项目环境影响评价-中撰咨询.pdf
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态进入到桶状冷氢化反应器中；在桶状冷氢化反应器中，在温度为300℃至500℃、压力为1.5至

5.5MPa、pH为5至7、混和气体流速为12m/s的条件下进行连续反应，生成三氯氢硅。用本方法生产的

三氯氢硅能达到直接用于生产电子级多晶硅的三氯氢硅，提高转化效率(达到30～35％)，整个过程

中物料循环利用，无污染，有利于环境保护，减少企业成本、增加企业效益。
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