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第9章气相沉积技术 气相沉积技术---通过气相材料或使材料气化后沉积于固体材料或制品(基片)表面并形成薄膜,从而使基片获得特殊表面性能的一种新技术。 9.1薄膜的特征与分类 薄膜的定义与特征 定义:一
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nbsp 真空 URL http www jzzksb com 镀膜 URL 过程非常复杂,由于镀膜原理的不同分为很多种类,仅仅因为都需要高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的真空镀膜,影响均匀性的因素也不尽相同。 并且均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。我下面分别说一下: 薄膜均匀性的概念: 1 厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1 10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1 10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀
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