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压电叠堆泵微位移放大机构的试验研究.pdf
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一种基于谐振式传感的压电叠堆传感执行器的研究.pdf
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一种基于压电叠堆的旋转驱动装置.pdf
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一种压电叠堆叉指电极结构及其形成方法.pdf
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