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智能控制仪表设计
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控制柜设计规范
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首先，对MOCVD 的原理、MOCVD 系统的结构以及MOCVD 系统的运行过程
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成部分和系统的运行过程进行了详细的介绍。
其次，针对MOCVD 系统气路部分的三个关键控制量：MO 源钢瓶压力控制、
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方案。
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