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浅谈增强磁控镀膜靶材利用率.pdf
- 晶润公司引进美国爱柯公司磁控溅射镀膜玻璃生产线,已经连续
生产了十多年,消耗的平面靶有二百多套。在使用第一批美国原装靶
材时,就发现靶材的溅射沟道不象资料上描述的那样平滑、笔直,而是
象波浪一样起伏有序,每一波的幅度和宽度基本相同。深度在直线段
高低有序,最深处比最浅处深6mm,圆弧段深度与直线段最深处基本
相同。溅射沟最深处在靶的圆弧段与直线段交界处,总是该处最先溅
射透低,造成靶材报废。
有些国产单室磁控溅射设备的厂家采用补焊的方法来延长不锈
钢靶的寿命,由于其对镀膜玻璃膜层质量要求不高,该方法效果不错,
但使用进口连续生产线的厂家,还没有人采用该方法。
靶材溅射沟较深的几个点,其溅射率最高,不但浪费靶材,还造成
镀膜玻璃膜层在横向上不均匀。如果能降低溅射沟较深处几点的磁
场,不仅能提高膜层横向均匀度,而且能延长靶材寿命,提高靶材利用
率。
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焊材牌号对照表.doc
- GB牌号 DIN JIS ESAB BSAWS E4301J423 D4301 42 E4303J422Fe;J422 E4343RR(B)8 D4303 OKpipetrodc22.65 42 E6
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版画论文:版画 媒材 版画创作 新媒材.doc
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包材回收利用控制流程.doc
- 包材回收利用控制流程1、目的控制纸箱、吸塑、台车、胶箱等包装材料的使用和回收利用过程,确保其正常的使用寿命和产品防护作用,提高纸箱的回收利用效益,保障回收数据的准确性及提升成本核算的准确度。2、 适用
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- 工程名称卓越小区 交底日期 施工单位 中太集团饶阳项目部 分项工程名称 地下室外墙防水工程交底提要 聚乙烯丙纶防水卷材技术交底交底内容:1 施工准备1.1 材料及主要机具:1.1.1聚乙烯丙纶防水卷材
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向豆丁求助:有没有材2B?