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一种用于薄膜太阳能电池刻膜及打点的新装置.pdf
本发明涉及一种用于薄膜太阳能电池刻膜及打点的新装置。该装置包括激光器、支撑台座、自动聚焦控制、自动摄像定位、光学平台、工控机、电源和动态振镜扫描。其特点是,光学平台上设有送料机构,其一侧面设置了支撑台座,自动聚焦控制和自动摄像定位子系统。在支撑台座的横梁内设置了X-y 轴振镜扫描单元、Z 轴前聚焦单元和激光器。工控机通过电缆分别与激光器、X-y 轴振镜扫描单元, z 轴前聚焦单元和电源连接。本发明具有结构简洁、工艺规范、生产成本低、易于大批量生产:具有扫描范围宽、聚焦光斑小且一致性好,能自动准确定位、工作效率高等优点,可以广泛地应用于非晶硅薄膜太阳能电池刻膜及打点等生产领域。
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