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生产了十多年，消耗的平面靶有二百多套。在使用第一批美国原装靶
材时，就发现靶材的溅射沟道不象资料上描述的那样平滑、笔直，而是
象波浪一样起伏有序，每一波的幅度和宽度基本相同。深度在直线段
高低有序，最深处比最浅处深6mm，圆弧段深度与直线段最深处基本
相同。溅射沟最深处在靶的圆弧段与直线段交界处，总是该处最先溅
射透低，造成靶材报废。
有些国产单室磁控溅射设备的厂家采用补焊的方法来延长不锈
钢靶的寿命，由于其对镀膜玻璃膜层质量要求不高，该方法效果不错，
但使用进口连续生产线的厂家，还没有人采用该方法。
靶材溅射沟较深的几个点，其溅射率最高，不但浪费靶材，还造成
镀膜玻璃膜层在横向上不均匀。如果能降低溅射沟较深处几点的磁
场，不仅能提高膜层横向均匀度，而且能延长靶材寿命，提高靶材利用
率。
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向豆丁求助：有没有白色 镀膜?
