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高真空与超高真空 获得设备。经 真空技术发展概况 (杨乃恒) 二. 真空工程理论基础 (孙丽娜) 三. 真空系统设计 (刘坤) 四. 低真空获得设备 (张以忱) 五. 清洁真空获得技术 (巴德纯) 六. 中真空获得设备 (张以忱) 七. 高真空与超高真空获得设备 (杨乃恒) 八. 真空测量 (刘玉岱) 九. 真空检漏 (刘玉岱) 十. 真空镀膜(一):PVD物理气相沉积 (张以忱) 十一. 真空镀膜(二):CVD化学气相沉积 张世伟) 十二. 真空冷冻干燥技术 (徐成海) 十三. 真空设备的自动化控制 (王庆) 十四. 真空材料与真空卫生 (张以忱)。Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China。1)概述。气体的抽除量达到动态平衡所决定的。即 由公式: Q=SP所决定的。系统内气体流 入量Q恒定时,系统的工作压强P决定于系 统出口处的抽速S。压强降低一个量级, 要求抽速相应增加一个量级。。Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China。? 泵的实际抽速小于理论抽速,并与入口压。强有关。泵口在一个有限的工作压强范围 内工作,超过此范围抽速减少到零。目前 还没有一种泵能从大气压到超高真空的整 个压强范围内工作。如工作在高真空区域 内就称作高真空获得设备,或工作在超高 真空区域的就称超高真空获得设备。由于 工作压强范围不同就出现了各种不同的真 空获得设备。。V
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