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[医药]阴极电弧蒸著类钻石碳膜之黏著性分析.pdf
- epu[医药]阴极电弧蒸著类钻石碳膜之黏著性分析/>
中國機械工程學會第二十四屆全國學術研討會論文集 中華民國九十六年十一月二十三日、二十四日<br />
中原大學 桃園、中壢 論文編號：D01-0053<br />
陰極電弧蒸著類鑽石碳膜之黏著性分析<br />
羅勝益、蔡宗儒、劉懿賢、余宗翰 華梵大學機電工程學系<br />
摘要<br />
本文主要在探討以石墨陰極電弧蒸著 DLC 膜之 製程參數：基材種類、電弧電流、氬氣流量、基板偏 壓、參入成份、退火溫度、蒸鍍時間等對 DLC 膜之 黏著性的影響。以刮擦試驗方法量測 DLC 膜剝離的 臨界負荷狀況，用田口法分析其對表面黏著的影響。 實驗結果顯示製程參數中以電弧電流及基板偏壓、蒸 鍍時間等三項對 DLC 膜的黏著性為顯著因子，可顯 著提升薄膜的黏著性。改善 DLC 膜的黏著性之石墨 陰極電弧蒸著製程參數以基材種類 K10、較大電弧電 流、較小氬氣流量、適中基板偏壓、無參入成份、無 退火溫度、適中蒸鍍時間等為最佳組合。 關鍵字：陰極電弧蒸著、類鑽石膜、製程參數、黏著 性<br />
些 但是其黏著狀況受到很多的相關複雜因素之相 ， 互影響，諸如：鍍膜的生產方法及製程參數的控 制、鍍膜表面特徵、黏著實驗形式、相對應之基材、 環境等等，然而，探討陰極電弧製作參數對所生產 類鑽石碳膜的黏著性質分析研究報告少 ，而本實驗 的目的即要來研究黏著性與<a name="page"></a>
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