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重掺半导体表面
等离子体的
研究
.pdf
UDC重掺半导体表面等离子体的研究 宋国峰副研究员 博士 中国科学院半导体研究所 工学硕士 微电子学与固体电子学 2008 中国科学院半导体研究所中国科学院研究生院 重掺半导体表面等离子体的研究 宋国
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石墨烯
的
低温
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博士学位论文论文题目 石墨烯的低温等离子体制备及掺杂研究 研究生姓名 指导教师姓名吴雪梅(教授) 等离子体物理及应用论文提交日期 2013 苏州大学学位论文独创性声明及使用授权声明学位论文独创性声明
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等离子体
增强制造工艺
的
CFD模拟
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UGM 2001 Company Confidential Copyright 2001 Fluent Inc. All rights reserved. 1New Ini
科技文献
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70
利用低温
等离子体
净化汽车尾气中氮氧化物
的
研究
.pdf
汽车工业的飞速发展带动了经济的发展,但同时也不可避免地对自然环境造
成严重的污染。在排放法规日益严格的今天,治理汽车尾气排放已成为十分紧迫
的任务,其中柴油机尾气排放的问题更显突出,也是治理汽车排放领域的工作难
点。本文设计了一个等离子反应实验系统,使用模拟尾气进行了初步的实验研究,
又对低温等离子体净化汽车尾气化学动力学模型进行了研究。通过对化学动力学
模型的分析,探讨低温等离子体净化汽车尾气的动力学特点。主要研究内容如下:
l、在阅读大量文献的基础上,阐述并比较分析了降低汽车排放所采用的各
种机内控制技术和后处理技术。由此可知,目前汽车的后处理装置不能同时有效
地处理排气中的NOx、PM、CH等成分。分析了低温等离子体技术在处理汽车
尾气排放方面的优势及应用现状。
2、探讨了低温等离子体技术对NOx的转化机理,分析了影响转化效果的各
种因素,为设计低温等离子体发生器提供了理论依据,也为开展低温等离子体技
术对NOx的转化机理的数值模拟工作提供了基础。
3、依据介质阻挡放电的工作原理,设计了介质阻挡放电等离子体试验装置。
通过实验对低温等离子体净化模拟尾气作了研究,考察了放电电压、尾气在等离
子体反应器中的停留时间、NO初始浓度、以及02和乙烯对模拟尾气中NO脱除率
的影响。
4、文章分析了低温等离子体净化汽车尾气中NOx的可能反应途径,从中分
析模拟尾气中的主要反应,建立了动力学模型。用MATLAB编程求解,进行计
算机模拟。模型中NO的反应动力学曲线与实验数据一致性良好,证明了反应机
理的合理性。文章还运用动力学模型,对模拟尾气中其余主要组分的反应动力学
作了预测。
关键词:汽车尾气,低温等离子体,介质阻挡放电,NOx,反应动力学
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等离子体的
基本概念
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作为迅速发展的新兴学科,等离子体科学涵盖了受控热核聚变,低温等离子体物理及应用,国防和高技术应用,天体和空间等离子体物理等分支领域. 等离子体科学在能源,材料,信息,环保,国防,微电子,半导体,航空,航天,冶金,生物医学,造纸,化工,纺织...
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等离子体的
应用
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等离子体的
研究
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要:本文阐述了气体放电中等离子体的特性及其测试方法,分别使用单探针法和双探针法测量了等离子体参量,最后对本实验进行了讨论。关键词:等离子体,等离子体诊断,探针法 引言等离子体作为物质的第四态在宇宙中普
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