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•微/纳系统的核心:微纳机电系统;
•微机电系统(Micro Electro-Mechanical System, MEMS ) ;纳机电系统(Nano Electro Mechanical System, NEMS )是微米/纳米技术的 重要组成部分;
•微/纳米技术是人类认识和改造微观世界的新起点、新平台;
• MEMS已经在产业化道路上发展,NEMS还处于基础研究阶段.......www.ddcbbs.tk
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