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一种改善栅极结构表面形成
金属硅化
层后漏电现象的方法
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一种改善栅极结构表面形成金属硅化层后漏电现象的方法一种改善栅极结构表面形成金属硅化层后漏电现象的方法一种改善栅极结构表面形成金属硅化层后漏电现象的方法
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12
金属硅化
层的湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置
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金属硅化层的湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置金属硅化层的湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置金属硅化层的湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置
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(2)半导体
金属硅化
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(2)半导体金属硅化物的离子注入制备与结构分析、块状非晶合金制备及性能;(3)半导体材料、半导体薄膜、透明导电薄膜机理和应用研究及陶瓷靶材的研制; 高温超导及巨磁电阻薄膜的制备与特性。项目简介: 项目
kyhc6o9
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