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Pressure Waves Induced by
Megasonic
Agitation in a LIGA…
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mtffjy15
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fabrication of micro pits based on
megasonic
assisted through-mask electrochemical micromachining.[2020][ultrasonics]
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development of
megasonic
cleaning for silicon wafers(10.99mb)
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Megasonic
sonication for cost-effective and automatable elution of Cryptosporidium from filters and membranes
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a novel cavitation probe design and some preliminary measurements of its application to
megasonic
cleaning
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Using
megasonic
development of SU-8 to yield ultra-high aspect ratio microstructures with UV lithography
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reducing the residual stress in micro electroforming layer by
megasonic
agitation.[2018][ultrason sonochem][10.1016j.ultsonch.2018.08.012]
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The Fabrication of
Megasonic
Agitated Module (MAM) for the…
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Megasonic
cleaning of wafers in electrolyte solutions…
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