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要电阻率是电子材料的重要参考性能数,薄膜电阻率的测量备受关注。采用传统四探针高电阻率测量方法测量薄膜电阻率,需要加入较多的修正才能得到精确的结果。因此,研究薄膜电阻率的测量系统原理、软硬件集成方法等具
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