按相关排序
全部格式
全部页数
时间不限
只看优质
只看可投资
展开
排序：
相关 最多阅读 最新上传
格式：
全部 doc pdf ppt xls txt 豆单
页数：
全部 1-8页 9-100页 100页以上
时间：
全部 2024年 2023年 2022年及以前
54
低温度系数光纤MEMS压力传感器的设计与制造-(可编辑).doc
南京师范大学硕士学位论文 低温度系数光纤MEMS 压力传感器的设计与制造 姓名:贲玉红 申请学位级别:硕士 专业:光学工程 指导教师:王鸣 20080522 摘要 传感器技术是现代科学技术发展水平的重
收藏到书房
4
低温度系数.稀土永磁体的研究.pdf
低温度系数.稀土永磁体的研究
收藏到书房
4
低温度系数稀土永磁体的研究.pdf
JournalofIronandSteelResearchVol.18No.1Jan.Z006作者简介!常 颖1978-女博士生 E-mail!carlfishgirl＠ 修订
2篇相似文档
收藏到书房
3
低温度系数石英挠性加速度计实验.pdf
燃料的费用 航空公司对减少任何费用都 有很大兴趣 可以说，卫星导 航在未来 的应用 中有着 巨大的潜力 ，我们需要 一些 创造性 的想象 去找到这些有益的应用 Symp~ium Gyrc eehnol
收藏到书房
53
低温度系数光纤MEMS压力传感器的设计与制造.pdf
传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志，它与通信技术、计算机技
术构成现代信息产业的三大支柱。在各种传感器中，压力传感器是应用最为广泛的一种。考虑到目前使用的硅压力传感器主要是扩散硅压力传感器，虽然其在目前技术己经比较成熟，但在强电磁干扰、易燃易爆等场所并不能使用。我们设计制造的光纤MEMS压力传感器集光纤传感器传输频带宽、动态测量范围大、易于组成分布式测量网的优点及MEMS传感器体积小、功能强、灵敏度高和易于批量生产的优点于一身，有望填补传统传感器在强电磁干扰、易燃易爆场合不能使用的空缺，
在石油化工和航天航空等领域有着广泛的应用前景。
研究了光纤MEMS压力传感器基于法布里一拍罗腔干涉的基本传感机理，建立
了光纤MEMS压力传感器的基本光学及力学模型，着重考虑并分析了光纤MEMS压
力传感器的温度效应，提出了低温度系数光纤MEMS压力传感器的设计并成功制造
出传感器若干。实验证明，新的结构使得光纤MEMS压力传感器受温度的影响大幅减小，具有了更好的重复性，同时还继承了原有传感器的高精度和高灵敏度。
研究了传感器的制作过程中所涉及的MEMS加工工艺的基本原理，包括光刻、
反应离子刻蚀(RIE)和阳极键合技术等关键技术，研究了传感器加工工艺，确定
了工艺流程，详细介绍了传感器加工步骤。研究MEMS压力传感器的封装结构及其封装方法，采用标准化的结构来封装研制的传感器元件，最后加工出传感器样品。
建立了传感器解调实验系统。对传感器的基本性能进行了理论分析，重点测
试了样品的重复性、迟滞、线性度、灵敏度和温度漂移等静态性能。实验结果表明制作出来的传感器性能良好，较以前的传感器在重复性及温度漂移方面有大幅提高。
关键词:光纤传感;MEMS;温度系数;法布里一拍罗干涉
收藏到书房
57
2:17型SmCo低温度系数永磁材料的研究.pdf
钢铁研究总院硕士学位论文2：17型SmCo低温度系数永磁材料的研究姓名：胡新建申请学位级别：硕士专业：材料物理与化学指导教师：李卫20040301钢铁研究总院硕士学位论文摘要２：１７型的ＳｍＣｏ永磁材
收藏到书房
60
高矫顽力低温度系数烧结NdFeB材料的研究.pdf
盐一流动站（～“一级学科）名称植抖猎堂皇工捏一．专业（二级学科）名称挝料堂一——合作导师（企业）杜叠蝰直王一合作导师（学校）』兰蜜数援一一研究工作起始时间～２ＱＱ垒．生一垒旦研究工作期满时问．２ＱＱ鱼
收藏到书房
89
低温度系数高电源抑制的基准源设计与应用.pdf
电子科技大学硕士学位论文低温度系数高电源抑制的基准源设计与应用姓名：牟飞燕申请学位级别：硕士专业：电路与系统指导教师：唐广20100501摘要摘要基准源作为电压输出电路，其主要作用是给集成电路提供电压
收藏到书房
7
用于瓷钢基片的低温度系数厚膜电阻浆料的研究.pdf
用于瓷钢基片的低温度系数厚膜电阻浆料的研究用于瓷钢基片的低温度系数厚膜电阻浆料的研究用于瓷钢基片的低温度系数厚膜电阻浆料的研究
收藏到书房
64
硕士论文-低输出、低温度系数、宽温度范围带隙基准电压源的设计与研究.pdf
臣ｌ型盥３口口（年嘶月孑Ｊ日些查查兰堡主兰竺兰苎ＡｂｓｔｒａｅｔＷｉｔｈｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｐｒｏｃｅｓｓａｎｄｃｉｒｅｔｔｉｔｓｄｅｓ
收藏到书房

向豆丁求助：有没有低温度系数?

95%的用户最终下载了:
相关搜索
如要投诉违规内容，请联系我们按需举报；如要提出意见建议，请到社区论坛发帖反馈。