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玻璃基ZnO:Al薄膜的射频磁控溅射法制备及其结构和性能表征.pdf
武汉理工大学硕士学位论文玻璃基ZnO：Al薄膜的射频磁控溅射法制备及其结构和性能表征姓名：王鹏申请学位级别：硕士专业：材料物理与化学指导教师：赵青南;赵修建20070501摘要由于铝掺杂氧化锌（Ａｚ０
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硅基ZnO纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性研究.pdf
中国科技论文在线硅基ZnO 纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性研究 轩君，刘爱民，桑永昌，张炳烨，刘一婷，刘国强** 作者简介：轩君，（1986-），男，硕士，主要研究方向：无机半导体材料表面光伏特性研究。
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硅基和CIGS基ZnO薄膜生长及CIGS太阳能电池器件的研究 - 南昌大学博士学位论文(下).pdf
硅基和CIGS基ZnO薄膜生长及CIGS太阳能电池器件的研究 - 南昌大学博士学位论文（下）
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硅基和CIGS基ZnO薄膜生长及CIGS太阳能电池器件的研究 - 南昌大学博士学位论文(上).pdf
硅基和CIGS基ZnO薄膜生长及CIGS太阳能电池器件的研究 - 南昌大学博士学位论文（上）
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硅基ZnO(MgZnO)薄膜及发光器件.pdf
硅基ZnO（MgZnO）薄膜及发光器件
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Si基ZnO一维纳米结构光伏器件制备及光电性能研究.pdf
精品机械自动化论文，研究生和技术人员的天地
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硅基zno系薄膜的波长可调的电抽运随机激射及其物理机制.pdf
硅基zno系薄膜的波长可调的电抽运随机激射及其物理机制
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[硕博论文][凝聚态物理]MOCVD异质外延硅基ZnO和SiC薄膜及其特性研究.pdf
[硕博论文][凝聚态物理]MOCVD异质外延硅基ZnO和SiC薄膜及其特性研究
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83
Si基ZnO薄膜的慢正电子研究.pdf
Z赶0是一种ll-磷族直接带隙的宽禁带半导体材辩，在室温下其禁带宽度为
3，36eV，激予束缚熊为60meV，具有寝好麓热稳定性和化学稳定牲。19粥年香
港和闩奉科学家在第23届半导体激光器国际会议上首次报道ZnO微结构的紫外
受激发射。随后，在1997年5月9同出版的Science杂志以“will UV Lasers Beat
氇e Bl豫s?”为题，高度评价了氧化锌在紫於激光器的应用前景，跌两在慰际范黉
内掀起了研究氧化锌的热潮。另外，作为第三代半导体材料，Zno在离效率光
散发设错和其他光学方面也有很好的应用前景，但是材料中的点缺陷是影H向其
光学和电学性质的重要因素，因此准确鉴别和量化材料中的点缺陷就疑褥尤菇
重要。
正电子湮没谱学(positronAnnihil“on Spectroscopy)，是一门把核物理和核
技术应用于固体物理和材料科学研究的新技术，还可应用与化学和生物等学科。
阂其无损、灵敏度高等特点，丽在材料微缺陷研究中得到了广泛的应用和越来
越多的霞视。
本论文主要围绕Si‘基znO异质外延薄膜的性质展开研究，利用正rU”r潭没
技术，同时结合X射线衍射分柝，拉曼散射谱j以及光致发光谱等测试手段楣辅
裙减，瓦为补充，英缀采对于Z的零孝料的生长和应用都具有很好的指导作餍。
主要的研究工作和结果如下：
l。扁质缓冲层生长糯0壤i薄膜魏研究
利用X射线衍射(XRD)，iF电子湮没谱学(PAs)和光致发光谱(PL)等
方法研究了不同厚度闹质缓冲层生长的ZnO／Si薄膜。通过改变直流溅射时间，
在si树底上溅射一一层不同厚度鲶Zn0缓冲层，嚣剥鹰LP．MOCVD生艮离质量
的zn0薄膜。通过研究发现，没有缓冲层豹Zn0薄膜楚取翔性较菱麓多蕊薄膜，
而随着缓冲层的引入，薄膜的取向性明显变好。慢正电子观测到溥膜内币l乜1r
的捕获缺陷主要是Zn空位(Vz。)，并且在靠近薄膜和缓冲层的界匝窄他浓度变
大。然两随羞缓冲瑟的簿度麓增加，薄膜酶结晶蔟量开始下降，缺陲浓度开始
增加以及发光性质丌始变差。可见缓冲层的引入对薄膜质量有显著影响。
另外，我们还比较了Si(100)衬底和Si(11 1)衬底生长的同质缓冲层薄膜，发
现以Sif{00)做衬底，最电子在薄膜内观察到的缺陷也是Zn空位(Vz。)，随着缓
关键词：正电予湮没,氧化锌,缺陷
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硅基ZnO材料生长与硅基GaN交通绿LED老化性能研究.pdf
硅基ZnO材料生长与硅基GaN交通绿LED老化性能研究
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