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用于在半导体结构上外延生长的系统、设备和方法.pdf
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硅上III-V族半导体外延结构及其制备方法.pdf
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一种应用于Si衬底上的LED外延片及其生长方法.pdf
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一种外延炉的衬底装载装置及上下料系统.pdf
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一种GaAs衬底上生长有CdTe外延层的结构及方法.pdf
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在晶片的正面上沉积外延层的方法和实施该方法的装置.pdf
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用于在半导体晶圆的正面上沉积外延层的方法和实施该方法的装置.pdf
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用于在半导体材料的衬底晶圆上沉积外延层的方法和设备.pdf
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一种石墨烯上利用氮化硅作为掩膜层外延氮化物材料的方法.pdf
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一种在导电型氧化镓衬底上制备同质外延氧化镓薄膜的方法及HVPE设备.pdf
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