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直流偏置的射频电源系统开发及应用.pdf
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射频电源介绍及电源维修.docx
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射频电源工作原理.doc
工作原理CX 系列射频电源是一款应用在半导体领域的高频功率放大器,他是一款等离子体发生器.其主要功能为半导体的等离子刻蚀,PECVD,PVD,溅射镀膜等提供高频等离子体激励. 射频电源内部工作原理如下

向豆丁求助:有没有射频电源?