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微纳结构形貌干涉显微测量关键技术研究.pdf
干涉显微法是一种基于光学干涉原理的表面形貌测量方法，具有测量速度快、精度高、非接触的优点，主要用于MEMS 等基于 IC 平面工艺制造的微纳结构表面形貌及其运动的测量。本文通过深入研究干涉显微法原理，
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Mirau型超分辨率干涉显微物镜.doc
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基于多相位干涉显微技术的活体细胞高度测量.pdf
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微纳结构形貌干涉显微测量关键技术研究.pdf
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宽光谱干涉显微测量方法、装置、电子设备及介质.pdf
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高深宽比微结构透射式干涉显微无损测量装置及测量方法.pdf
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一种白光干涉显微物镜.pdf
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白光干涉显微系统及微观形貌移相算法研究.pdf
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一种稳定的双波长实时干涉显微装置及其使用方法.pdf
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一种Mirau型宽视场干涉显微物镜光学系统.doc
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向豆丁求助：有没有干涉显微?

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