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【精品资料】气体微流量测量及标准装置概论1.doc
气体微流量测量及标准装置概论(1)时间:2010-03-10 来源:兰州物理研究所 编辑:李旺奎 本文全面而概略地论述了气体微流量的测量及其标准的发展和现状。着重考虑了作为气体微流量标准装置核心的恒压式气体微流量计的原理、结构、下限因素和不确定度等基本问题。简略地介绍了我们在这方面的工作和特点。 一、引言 真空物理和技术中最基本的三个物理量是真空度(P)、微流量(Q)、和抽速(S)。气体在热力学平衡态下, 这三个量之间的关系为P = Q /S 。真空计量学的首要任务就是要建立这三个物理量的标准。 近30 多年来, 真空度标准有了很大发展, 在许多国家已建
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气体微流量测量及标准装置概论1(Gas microflow measurement and standard device introduction 1).doc
气体微流量测量及标准装置概论1（Gas microflow measurement and standard device introduction 1）
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气体微流量测量及标准装置概论1(Introduction of gas micro flow measurement and standard device 1).doc
气体微流量测量及标准装置概论1（Introduction of gas micro flow measurement and standard device 1）
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气体微流量测量及标准装置概论1(Introduction of gas microflow measurement and standard device).doc
气体微流量测量及标准装置概论1（Introduction of gas microflow measurement and standard device）
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气体微流量测量及标准装置概论1.txt
气体微流量测量及标准装置概论(1)时间:2010-03-10来源:兰州物理研究所 编辑:李旺奎 本文全面而概略地论述了气体微流量的测量及其标准的发展和现状。着重考虑了作为气体微流量标准装置核心的恒压式
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气体微流量测量及标准装置概论1.txt
气体微流量测量及标准装置概论1
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气体微流量测量及标准装置概论1.txt
气体微流量测量及标准装置概论1
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气体微流量测量及标准装置概论3(Introduction to gas micro flow measurement and standard device 3).doc
气体微流量测量及标准装置概论3（Introduction to gas micro flow measurement and standard device 3）
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气体微流量测量及标准装置概论2(Introduction of gas micro flow measurement and standard device 2).doc
气动工具工作原理（The working principle of pneumatic tools）
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气体微流量测量及标准装置概论2.txt
气体微流量测量及标准装置概论(2)时间:2010-03-10来源:兰州物理研究所 编辑:李旺奎 4PaL/s,不确定度<1%。 1966 SmeTana研制的恒压流量计, 所示结构相比有两大改进:一是
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