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直拉单晶
炉等径控制系统研究
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随着单晶硅在各种高技术领域应用的不断推广,对单晶硅的需求量在不断。增加,对其质量的要求也是越来越高。直拉单晶炉等径控制性能的优劣直接影响着生产出的单晶硅质量。根据工艺要求和设备条件,直拉单晶炉等径控制
jzsh123
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直拉单晶
工艺流程
.ppt
教材负责人:高俊伟一:硅材料认识二:直拉单晶工艺流程详解三:单晶硅片电学参数介绍Aworld’s Leading Vertically-integrated PV Manufacturer www.j
gaojunwei_110110
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CZ150
直拉单晶
炉-热场控制系统的研究
.pdf
本文介绍了一种基于PLC的模块化直拉单晶炉热场温度控制系统,它具有可扩展性强、灵活性好、易于维护等特点,只要做很少的模块扩展与软件修改工作,就可以满足各类直拉单晶炉控制系统的要求。 鉴于现在直拉单晶炉热场温度控制的现状,提出了模糊变系数PID控制算法,通过现场试验,实验曲线数据分析表明:给出的模糊变系数PID控制算法能够满足设计要求,能够达到对于直拉单晶炉热场温度控制的目的,控制精度在允许的控制范围内,误差比较合理,使作业控制更加有效和准确。 全文总共分为七章: 第一章介绍了论文的研究背景以及国内外在直拉单晶炉研究现状及发展,并对热场及其控制以及CZl50直拉单晶炉进行了介绍,并由此引出了论文的研究内容和方法。 第二章主要进行的工作是研究了晶体的热动力、热传输,在此基础上对热场建模。 第三章详细叙述了直拉单晶炉热场模糊变系数PID温度控制,首先对直拉单晶炉热场的特性进行测试研究,然后用模糊变系数PID控制算法进行控制,用经验知识对模糊变系数PID算法中的参数进行修正,达到理想的控制效果。 第四章详细叙述了以基于PLC的模块化直拉单晶炉热场温度控制系统的硬件实现,首先提出了直拉单晶炉热场对控制系统的硬件要求,然后对本系统的硬件设计进行了详细说明。 第五章详细叙述了以基于PLC的模块化直拉单晶炉热场温度控制系统的软件实现,首先对软件系统的整体框架进行了介绍,然后对软件系统的各个程序模块逐个分析。 第六章介绍了论文的现场试验,给出了系统试验的曲线、数据分析和最终结论。 第七章总结了本论文研究的内容,并对课题中需要进一步研究、完善的重点进行了一定的探讨、分析和展望。
学术交流
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直拉单晶
工艺学
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LDKLDK 直拉单晶工艺介绍 直拉单晶工艺介绍 多晶硅 腐蚀、清洗 区熔单晶生长 直拉单晶生长 区熔单晶硅 直拉单晶硅 切片 磨片 抛光片、外延片单晶硅切片 单晶硅磨片 真空工艺真空工艺 气氛工艺气
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转
直拉单晶
制造法
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直拉单晶制造法 Czochralski,CZ法 是把原料多硅晶块放入石英坩埚中,在单晶炉中加热融化,再将一根直径只有10mm的棒状晶种 称籽晶 浸入融液中。在合适的温度下,融液中的硅原子会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶,成为单晶体。把晶种微微的旋转向上提升,融液中的硅原子会在前面形成的单晶体上继续结晶,并延续其规则的原子排列结构。若整个结晶环境稳定,就可以周而复始的形成结晶,最后形成一根圆柱形的原子排列整齐的硅单晶晶体,即硅单晶锭。当结晶加快时,晶体直径会变粗,提高升速可以使直径变细,增加温度
kge1
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直拉单晶
作业指导书
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直拉单晶作业指导书直拉单晶作业指导书直拉单晶作业指导书
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直拉单晶
降氧原理
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直拉单晶降氧原理.pdf直拉单晶降氧原理.pdf直拉单晶降氧原理.pdf
monica6333
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直拉单晶
生产主要注意点
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从直径控制看生产单晶的主要注意点【概述】 从直径控制可以看到目前存在的问题,如何解决这一现象或者减小不利程度,是本文去考虑的主要问题。 主要内容:一、数据搜集及整理 二、数据分析 三、原因分析 一、直
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直拉单晶
炉循环冷却水水质控制
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色金属》直拉单晶炉循环冷却水水质控制万 金峨眉半导体材料厂、 所峨嵋 山市【摘要 本文介绍 了直拉单晶 冷却水系统, 冷却水水质的 因素进行 了分析, 论述 了说明。【关键词】直拉单晶炉循环冷却水质控
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一种拼接型
直拉单晶
炉固化保温桶
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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN103882511A (43)申请公布日 2014.06.25 (21)申请号 CN201410076146.4 (2
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