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21
真空物理基础.ppt
真空物理基础,苟伟
什么是真空？（工业标准的真空）
真空的衡量（单位及换算关系）
真空的划分（低、中、高和超高真空）
真空的获得（泵的类型，泵的原理及真空系统）
真空的测量（各种常见真空测量装置）
真空的应用（真空在各个领域的应用）
镀膜领域中的真控技术
1. 稀有金属、超纯金属和合金、半导体材料的真空熔炼和精制；常用结构材料的真空还原冶金；
2. 纯金属的真空蒸馏精练；放射性同位素蒸发；
3. 难熔金疆的真空烧结；
4. 半导体材料的真空提纯和晶体制备；
5. 高温金相显微镜及高温材料实验设备的制造；
6. 真空镀膜，离子注入．膜层刻蚀等表面改性；
7. 真空工业的电光管、离子管、电子源管、电子束管、电子衍射仪，电子显微镜、 x光显微镜，各种粒子加速器、能谱仪、核辐射谱仪，中子管、气体激光器的制造；
8. 电子束除气、电子束焊接，区域熔炼，电子束加热
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真空物理基础.doc
对于任何一种真空产品或一项真空工艺，都有着专门的物理知识作为其工作原理的基础。但本次讲座所要介绍的，仅仅是那些在真空行业的各个领域中都会经常遇到的最基本的物理知识。主要包括气体及蒸汽的性质及其内部各种动力过程的规律(空间过程)、气体与固体间的作用规律(器壁过程)以及气体流动的规律。限于篇幅，每个方面只能作简单的介绍。
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真空物理基础.ppt
真空物理基础
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真空物理基础.doc
文件格式:DOC/Microsoft Word - HTML版
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第二讲新:真空物理基础(一).pdf
第二讲新：真空物理基础（一）第二讲新：真空物理基础（一）第二讲新：真空物理基础（一）
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第1章 真空技术的物理基础.ppt
2学分，其中28学时，4学时实验本课程内容包括：真空技术，薄膜技术 两部分 教材： ，真空技术，北京航空航天大学出版社 2007.12。杨帮朝，王文生，薄膜物理与技术，电子科技撒学出版社， 1994年
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[物理]真空基础知识.pdf
[物理]真空基础知识真空技术和水环泵的基本知识


by 周士海


2007-5-26





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薄膜物理与技术-1 真空技术基础-宋春元-20140909PPT.ppt
真空的基本知识稀薄气体的基本性质真空的获得真空的测量真空与薄膜材料与技术有何关系？几乎所有的现代薄膜材料制备都需要在真空或较低的气压条件下进行都涉及真空下气相的产生、输运和反应过程；了解真空的基本概念
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