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真空获得技术真空泵.pdf
真空获得技术—真空泵•真空泵的几个术语1. 抽气速率：在泵的入口处，压强为P, 单位时间内抽出的气体量为Q, 抽速Sp=Q/P, 单位：L/s2. 有效抽气速率：真空泵与真空室之间通常有管道，管道存在
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第2章 真空获得技术.ppt
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第2章 真空获得技术20130924.ppt
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真空技术真空获得和真空镀膜.ppt
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