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一种硅膜电容压力传感器及其制造方法.doc
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MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制..doc
MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制.
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MEMS硅膜电容式压力传感器的研制.pdf
传统的压力传感器通常是机械式的，体积相对来说比较大，这样对集成化和微型化有很多的不利。如果使用MEMS技术之后，上面所说的缺点就可以得以解决，而且可以使它的性能变得更加的好，还可以使成本大大地降低。现在使用了MEMS技术之后得到广泛应用的压力传感器一般分为电容式和压阻式两类。
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MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制.doc
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MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制 电子技术.doc
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MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制.docx
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