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用于TEM原位拉伸实验的集成
单晶硅纳米
梁
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用于TEM原位拉伸实验的集成单晶硅纳米梁MEMS测试芯片研究(标题)金钦华, (作者)上海交通大学微纳科学技术研究院, 上海 200030 中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室, 微
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形成
纳米单晶硅
的方法和非挥发性半导体存储器制造方法
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一种嵌入
单晶硅
的自封闭氧化硅
纳米
孔及其制备方法
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用于
纳米
光子技术的
单晶硅纳米
膜的制备方法
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用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法
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一种
单晶硅纳米
线网状阵列结构的制作方法
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纳米
晶硅/
单晶硅
异质结太阳能电池及其制备方法
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一种将贵金属
纳米
粒子固定在
单晶硅
表面聚合物刷上的方法
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一种
单晶硅
基
纳米
倒金字塔结构背钝化太阳电池及其制备方法
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一种n型
纳米
金刚石薄膜/p型
单晶硅
的异质pn结原型器件及其制备方法
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线的方法
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