-
![]()
37
-
铜互连技术中铝焊接点的氮化钽扩散阻挡工艺优化.pdf
- 铜互连技术中铝焊接点的氮化钽扩散阻挡工艺优化,叠氮化钠,氮化硅,氮化硼,氮化镁,氮化铝,立方氮化硼,氮化钛,氮化处理,氮化碳
-
-
![]()
12
-
铜互连技术.doc
- 铜互连技术
-
-
![]()
54
-
铜互连技术的扩散阻挡层工艺研究.pdf
- 王奇峰指导教师：李炳宗教授李鹤鸣／王继明商工完成日期： ２００５年１１月１０日铜互连技术的扩敝阻挡层工艺研究 王奇峰 董盟大学研究生院摘要集成电路发展，要求不断提齑集成度和速度，茭途径为器件微夺型化。
-
-
![]()
58
-
铜互连应力迁移测试技术与应力释放机理研究.pdf
- 铜互连应力迁移测试技术与应力释放机理研究
-
-
![]()
4
-
铜互连技术发展.pdf
- 铜互连技术发展
-
1篇相似文档
-
![]()
51
-
铜互连技术的扩散阻挡层工艺研究.pdf
- 铜互连技术的扩散阻挡层工艺研究铜互连技术的扩散阻挡层工艺研究铜互连技术的扩散阻挡层工艺研究
-
-
![]()
1
-
第四届复旦-诺发铜互连技术研讨会回执.doc
- 敬请将回执于5月25日前传真或E-mail或寄至复旦大学微电子研究院梁晓英收 电话:021-65643438 传真:021-65643449 电子邮件:microe@ 地址:邯郸路220号复旦大学微电子研究院，200433 ...
-
-
![]()
46
-
铜互连技术的扩散阻挡层工艺的研究.pdf
- 铜互连技术的扩散阻挡层工艺的研究
-
-
![]()
4
-
ULSI中铜互连线技术的关键工艺.pdf
- 收稿日期:2000206221; 定稿日期: 2000208211基金项目: 国家自然科学基金重点项目(69936020)第 31 icroelectronicsVol131, 2Apr12001文
-
1篇相似文档
-
![]()
146
-
(材料学专业论文)溅射铜和铜合金薄膜的微观结构与性能--铜互连技术的基础研究.pdf
- ａｏＴｏｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ＤｏｃｔｏｒＭＩＣＲｏＳＴＲＵＣＴＵＲＥ ＡＮＤ ＰｏＲｏＰＥＲＴＩＥＳ ｏＦ ＳＰＵＴＴＥＲＥＤ ＣｏＰＰＥＲ ＡＮＤ ＣｏＰＰＥＲ ＡＬＬＯＹ ＴＨＩＮ ＦＩＬ
-
向豆丁求助：有没有铜互连技术?
