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新一代宽带隙SiC衬底材料现状与发展趋势.doc
1 SiC衬底材料发展趋势我们知道,衬底材料的品质决定了功率器件的成本及其特性。当前,SiC衬底材料呈现出尺寸不断增大、品质不断提高、价格不断下降的趋势。随着SiC功率半导体器件实用化的研发,SiC衬底材料的需求量也在不断扩大,2006年SiC单晶衬底的市场规模为40亿日元。日本矢野经济研究所预计:使用Si的高压分离器件将被SiC器件所取代,并预测SiC单晶衬底的市场规模2010年达到105亿日元,2015年将达到300亿日元,增大近3倍。SiC衬底材料品质的提高主要体现在SiC衬底缺陷的不断减少方面,尤其是危害SiC功率器件的微管缺陷的不断减少
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