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ECR 沉积DLC 薄膜.pdf
深圳大学硕士学位论文ECR 沉积DLC 薄膜 材料物理与化学学院（系、所） 教授分类号 TG146 学校代码 10590 ECR沉积DLC 薄膜 本文利用ECR－650 复合镀膜设备，采用微波-ECR
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微波ECR化学气相沉积DLC薄膜的研究.pdf
微波ECR化学气相沉积DLC薄膜的研究微波ECR化学气相沉积DLC薄膜的研究微波ECR化学气相沉积DLC薄膜的研究
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微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜.pdf
用微波ECR等离子体源离子注入(PSII)法,在硅片(100)上制备了类金刚石(DLC)薄膜,工作气体采用CH4气体, 研究了不同的气体流量对薄膜的影响.对制备的DLC薄膜,用拉曼光谱,FT2IR光谱,AFM以及纳米压痕等手段对化学成分, 化学键结构,表面形貌...
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ECR结合磁控溅射_制备DLC薄膜的新方法.doc
光学、热学等性能都可以依据需要而进行!剪裁 功率 3.3426 10 18210 相比较,理论分析结果比有限元分析结 2008 ECR结合磁控溅射 制备 DLC 薄膜的新方法* 69 介绍了新型的结合
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微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射DLC膜的制备与表征.docx
微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射DLC膜的制备与表征微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射DLC膜的制备与表征微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射DLC膜的制备与表征
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AFM Study on Reliability of Nanoscale DLC Films Deposited by ECR-MPCVD.pdf
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AFM Study on Reliability of Nanoscale DLC Films Deposited by ECR-MPCVD.pdf
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微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响.pdf
微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响
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微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜.pdf
微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜
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