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MOCVD设备气体输运与加热控制系统设计.pdf
本论文在充分了解和研究了国内外主流的几款MOCVD 系统的前提下,总结出
MOCVD 系统的结构特点和运行过程,提出了对MOCVD 气路系统和加热系统进行
控制的方法,全文主要从三个方面对MOCVD 系统进行了研究:
首先,对MOCVD 的原理、MOCVD 系统的结构以及MOCVD 系统的运行过程
进行了详细的研究,给出了本项目组设计的MOCVD 系统整体结构,对系统的各组
成部分和系统的运行过程进行了详细的介绍。
其次,针对MOCVD 系统气路部分的三个关键控制量:MO 源钢瓶压力控制、
Run 管路和Vent 管路的压差控制以及Run 管路的气体补偿控制,提出了相应的控制
方案。
最后,对MOCVD 系统温度控制的特点进行了分析,对比了感应加热和红外辐
射加热的优缺点,提出以红外辐射加热的方式来对加热电炉进行设计,随后对加热
电炉发热体材料和绝缘材料进行了选择,给出了加热电炉的整体结构设计方案,并
对加热电炉水冷系统的结构进行了设计。
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驻车加热系统培训(奥迪轿车).pdf
驻车加热系统培训Yanjun.wang@faw-volkswagen.com一汽-大众售后服务科培训组车型一览表WEBASTOTDI 汽油A8 辅助加热/ 驻车加热总装装备. 驻车加热作为总装装备A6
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谐振式中频感应加热电源研究与设计.pdf
谐振式中频感廊加热电源研究与设计摘要谐振式中频感应加热电源输出频率为400Hz~20kHz,电压幅值达到几千伏的单相交流电能,属于一类特种的工业电源,具有效率高、体积小、重量轻等优点,被广泛应用于熔炼
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大功率感应加热电源设计.doc
摘要感应加热电源在金属熔炼、铸造、锻造、透热、淬火、弯管、烧结、表面热处理、铜焊以及晶体生长等行业得到了广泛的应用。同时,由于感应加热电源的加热特点,超音频、大功率是感应加热电源领域研究的重点之一。本
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热力发电厂 第4章 给水回热加热系统.ppt
1第四章第四章 给水回热加热系统 给水回热加热系统本章先介绍回热加热器的类型、结构特点及其连接方式;着重定性分析影响电厂热经济的一些回热系统的损失。然后介绍回热原则热力系统的常规计算原理、方法、步骤,
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钢的加热规范.ppt
第二篇热锻工艺与模锻设计第九章 热锻工艺概述聂爱琴3243044版权声明 本课件为作者所有 本课件为职教老师网从网上整理的资料,只能用于学习 研究,不得使用商业! 职教老师网为从事职业教育的老师服务!
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微波加热及微波诱导反应的研究.pdf
微波加热及微波诱导反应的研究摘要 微波是指频率为 300MHz~300GHz 的电磁波。微波技术是近代科学技术发展的重大成就之一,发展极为迅速。微波在加热和诱导化学反应方面有广泛应用,尤其在诱导化学反
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基于单片机的电加热恒温箱控制器设计.doc
恒温箱作为一种重要的工具广泛地应用于医疗、工业生产和食品加工等领域。在常规的环境参数中,由于温度受其它因素影响较大,且难以校准,温度也是最难准确测量的一个参数。因此,恒温箱的性能在很大程度上取决于对温度的控制性能。
本设计采用单片机对恒温箱的温度进行PID控制,使其温度稳定在某一个设定值上。并且具有键盘输入温度给定值、定时时间,LED数码管显示温度值/时间和定时报警的功能,实现了自动控制温度的目的。
基于P89V51RD2的恒温箱温度控制系统主要实现了温度采集、A/D转换、软件滤波、温度控制及定时等功能。
首先,介绍了恒温箱设计的课题背景及意义,并结合设计要求和实际情况选择了设计所涉及到的主要功能器件,同时重点介绍了P89V51RD2、ADC0809、Pt100的主要功能。
其次,阐述了系统的工作原理,完成了系统结构图的设计,把系统划分为5大模块并完成了各大模块的设计工作,同时附以系统硬件电路原理图。
最后,设计了系统的软件。系统软件是用C语言进行软件设计的,C语言具有指令简单,数据量小等特点。
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空心抽油杆电加热采油装置.pdf
空心抽油杆电加热采油装置空心抽油杆电加热采油装置空心抽油杆电加热采油装置空心抽油杆电加热采油装置抽油机井空心抽油杆电加热装置抽油机井空心抽油杆电加热装置空心抽油杆过泵加热装置空心抽油杆过泵加热装置螺杆
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数字化中频感应加热电源的研究与设计(论文).pdf
本文针对中频感应加热装置的需要设计了一种感应加热电源,通过电磁感应原理及利
用涡流实现了对工件的加热。本电源的引入使得感应加热装置的频率应变性得到增强,可
跟踪负载的工作频率,使装置效率提高,从而达到节能、节时的目的。
本课题主要对感应加热电源的硬件进行了分析设计,其核心工作在于逆变电路和DSP
控制电路的设计。通过对感应加热电源的工作原理、电路拓扑结构以及槽路谐振特性的分
析,确定了以IGBT 作为功率开关器件的串联谐振型逆变器作为本系统的逆变电路,并通
过双极性脉宽调制方式(SPWM)实现了对逆变器的功率控制。以HL402 作为驱动系统核
心设计了电源的驱动保护电路,确保了感应加热电源的正常运行。搭建了以TMS320F2812
为核心的控制平台,实现了SPWM 驱动信号的数字化产生以及系统的带有输出电压有效值
控制及负载电流前馈控制的瞬时值双环反馈控制,并加入一定的死区时间以防止逆变器同
一桥臂上的功率开关管同时导通,产生直通现象损坏器件。通过对锁相环原理的分析,建
立了锁相环控制的数学模型,并提出了利用TMS320F2812 实现数字锁相环的方法及流程,
实现了谐振型逆变器的负载频率跟踪。对电源系统进行分析确定了整体方案,对系统的软
硬件进行了设计,并计算了系统参数以及进行了器件的选型。最后通过对系统的仿真分析
验证了设计的可行性。
关键词:感应加热,串联谐振,SPWM,TMS320F2812,数字锁相环,仿真

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