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基于马赫增德尔干涉原理的微纳光纤折射率传感器研究
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微纳制造与生物制造.ppt
微纳器件的设计和制造方面的知识，以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术，包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术...
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飞秒激光微纳加工系统及功能器件工艺研究.pdf
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硅的各向异性湿法腐蚀工艺及其在微纳结构中的应用研究.pdf
硅的各向异性湿法腐蚀是硅片微机械加工的重要技术之一，它被广泛地应用于在硅衬底上加工各种各样的微结构，如膜结构、凹槽结构、悬臂梁等，近年来也被用于很多纳米结构的制造。本文以{110}、{111}和{10
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热蒸发与溅射镀膜 北京大学微纳加工实验室.ppt
微纳米加工及应用许胜勇xusy@62762722， 1343 650 1185， 2443N房间助教：孙伟强，13811739569， swq-frank@163.com《微纳米加
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第一章_微纳机电系统概论.pdf
微纳机电系统概述彭倚天副教授Office：机械楼410Phone: 52090501-8410(O)Email: yitianpeng@本课特点 全面 基础 应用 前沿 灵活A C
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基于倏逝场特性的微纳光纤器件研究.pdf
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【初试】2025年 温州大学0808Z1微纳电子与光电信息《824电子技术基础》考研精品资料.pdf
【初试】2025年 温州大学0808Z1微纳电子与光电信息《824电子技术基础》考研精品资料【初试】2025年 温州大学0808Z1微纳电子与光电信息《824电子技术基础》考研精品资料【初试】2025年 温州大学0808Z1微纳电子与光电信息《824电子技术基础》考研精品资料
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【基础】2026年 北京理工大学0802J2光机电微纳制造《848理论力学》考研基础训练475题(填空+计算题).pdf
【基础】2026年 北京理工大学0802J2光机电微纳制造《848理论力学》考研基础训练475题(填空+计算题)【基础】2026年 北京理工大学0802J2光机电微纳制造《848理论力学》考研基础训练475题(填空+计算题)【基础】2026年 北京理工大学0802J2光机电微纳制造《848理论力学》考研基础训练475题(填空+计算题)
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【强化】2025年 北京理工大学0802J2光机电微纳制造《848理论力学》考研强化训练475题(填空+计算题).pdf
【强化】2025年 北京理工大学0802J2光机电微纳制造《848理论力学》考研强化训练475题(填空+计算题)【强化】2025年 北京理工大学0802J2光机电微纳制造《848理论力学》考研强化训练475题(填空+计算题)【强化】2025年 北京理工大学0802J2光机电微纳制造《848理论力学》考研强化训练475题(填空+计算题)
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微纳结构形貌干涉显微测量关键技术研究.pdf
干涉显微法是一种基于光学干涉原理的表面形貌测量方法，具有测量速度快、精度高、非接触的优点，主要用于MEMS 等基于 IC 平面工艺制造的微纳结构表面形貌及其运动的测量。本文通过深入研究干涉显微法原理，
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